中古 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9144808 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LPは、半導体製造におけるウェーハ加工に使用される先進的な急速サーマルプロセッサです。特許取得済みの連続熱処理（RTP）技術により、幅広い材料や基板において高精度の熱処理性能を提供します。TEL SRTF200-LPは、-25°C〜1600°Cの温度範囲のシングルリールキャリアシステムで、さまざまなプロセスパラメータに適しています。それに他のような急速な熱処理の解決を与える15°C/secまでの熱プロセスおよび速い温度ランプの間にウェーハを交換するための独特な回転シャッタードアの設計があります。また、WaferVisionTMを搭載しています。高度なビジョンシステムは、動的なプロセス工程中にウェーハの転送とビジョンモニタリング中に正確なウェーハアライメントを可能にします。WAFERMASTERS SRTF200-LPには、お客様の特定のプロセスニーズに合わせてシステムをカスタマイズするために追加できるさまざまなオプションモジュールもあります。これらには、DEP、 PECVD、 CVD、 ALDおよびその他の層状材料処理用のリアクタモジュールが含まれます。1200°C以上の温度にウェーハを上昇させるためのサセプターヒーター。チャンバー内の真空ローディングアームからウェーハを受信するためのクォーツラック。そして精密なウェーハのローディングおよび位置のための埋め込まれたレーザーの干渉計。TOKYO ELECTRON SRTF200-LPは、柔軟性と高精度の熱処理制御により、完璧なプロセスアライメントと再現性を実現し、高度に自動化されたシステムに簡単に統合されたソリューションを提供します。精密で効率的で信頼性の高い熱処理を必要とするハイテク産業に最適なソリューションです。