中古 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP #9134044 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS SRTF200-LP
ID: 9134044
ウェーハサイズ: 8"
Rapid thermal annealing systems, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LPは、高度な高速サーマルプロセッサです。優れた性能とスループットを低コストで高効率で提供できます。この装置は、多種多様なウエハサイズの精密かつ再現可能な急速熱処理(RTP)レシピを容易にするように設計されています。TEL SRTF200-LPは、高度な高精度技術を駆使し、炉からの熱を均等に分散させることで、ウェーハの均一な加熱・冷却を実現しています。これにより、精密な温度制御が可能となり、歩留まりが向上し、ウェーハ性能が向上します。WAFERMASTERS SRTF200-LPは、統合されたサーマルセンサアレイを使用して、温度条件をリアルタイムで読み出します。これにより、熱処理プロセス中に高いレベルの信頼性と精度が保証されます。SRTF200-LPは、ユーザーが構成をカスタマイズし、生産プロセスを最適化することができ、レシピ設定の広い範囲を提供しています。これには、時間と温度の設定の範囲だけでなく、拡散や酸化などのさまざまなアプリケーションのためのさまざまなレシピが含まれています。TOKYO ELECTRON SRTF200-LPの包括的なデータロギングと分析機能により、高品質な結果が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS SRTF200-LPシステムは、完全な温度制御と効率的なデータ転送と処理を提供する高度な統合制御パッケージを提供します。自動化されたユニットは、最高の生産性のための高速制御とデータ転送を可能にします。内蔵のランタイムアラームマシンにより、プロセス関連の問題が迅速かつ簡単に特定されます。高度な機能に加えて、TEL SRTF200-LPは非常に使いやすく、メンテナンスも簡単です。独自のプロセス最適化された設計により、優れた熱均一性と低い運用コストとメンテナンスコストを実現します。また、WAFERMASTERS SRTF200-LPは、緊急停止時に自己診断ツールを再初期化する機能も備えています。要約すると、SRTF200-LPは高度な高速サーマルプロセッサです。統合されたサーマルセンサアレイ、堅牢なレシピ設定、高度な統合制御、および信頼性を向上させる自己診断アセットを備えています。正確な温度制御と効率的なデータ転送により、運用コストとメンテナンスコストを低減し、高品質な結果を保証する東京エレクトロンSRTF200-LP。
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