中古 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #9375003 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 rapid thermal processor （RTP）は、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、スパッタリング、その他の各種プロセス、酸化などの幅広い用途において、ウェーハを迅速かつ正確に処理するために設計された最先のデバイスです。TEL 5BAO-200は、室温から900°Cの温度まで、わずか30秒でウェーハを素早く加工することができます。さらに、このRTPには、あらゆるプロセスに優れた結果を保証する自己診断および制御装置もあります。WAFERMASTERS 5BAO-200は、空気圧制御チャンバーヒーターを使用して、複数のウェーハを効率的かつ迅速に加熱します。このRTPは、高度なシミュレーション技術と最先端の3Dモデリングによって構築され、直径4〜6インチの最大200ウェーハを一度に収容できる加熱チャンバーを作成します。5BAO-200は、3つの独立したマスフロー比例制御システムを備えており、PID制御を内蔵しており、タイミングと温度の設定を高精度に行うことができます。また、TOKYO ELECTRON 5BAO-200は、優れた性能と利便性を念頭に設計されており、緊急停止機能や複数のバックアップヒーティングシステムなど、複数の安全機能を備えています。高出力の用量に対応できるように設計された優れた材料と部品から構成されており、耐久性と堅牢性があります。また、TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200には、サイクルタイムを迅速に短縮し、スループットを向上させるユニークな非接触ウェーハローディングユニットが含まれています。優れた機能に加えて、TEL 5BAO-200は、直感的な制御インターフェースと、マシンの定期的なメンテナンスと管理の両方のためのリモート機能を提供します。最後に、エネルギー効率が高く、同様のシステムよりも少ない電力を消費し、コストを削減し、持続可能性を促進します。全体として、WAFERMASTERS 5BAO-200高速サーマルプロセッサは、業界で優れた選択肢となる革新的な機能を備えたファーストクラスのデバイスです。それは効果的にそして効率的にウェーハの急速で、精密な熱処理を提供し、CVD、 PVD、スパッタリング、酸化、アニールおよびクリーニングのような多数の適用に、完全です。