中古 TEL / TOKYO ELECTRON / WAFERMASTERS 5BAO-200 #293760423 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200 TELは、半導体集積回路の製造に使用されるツールです。この急速なサーマルプロセッサは、自動化されたシステム内のサーマルサイクリングプロセスを利用して、イオン埋め込まれた材料を迅速にアニールし、活性化します。このプロセスにより、集積回路の製造効率が向上し、製造コストの削減に役立ちます。TEL 5BAO-200は、高精度な鋳造熱力学グレードのアルミ合金で作られたフレームで、コンパクトで均一なデザインを特徴としています。このデバイスは、最大熱負荷容量が200wで、1〜3つの温度制御領域で150mmおよび200mmウェーハを処理できます。このデバイスには、サーマルセンシングユニット（非接触ピロメーター）と正確な監視と制御を保証する精密赤外線ピロメーターが装備されています。WAFERMASTERS 5BAO-200は、最大6つの温度設定ポイント、調整可能な加熱および冷却速度、およびさまざまな時間間隔の冷却ランプを備えた幅広い設定を提供します。このプロセッサには、人員の安全を確保し、デバイスへの損傷のリスクを最小限に抑えるための多くの安全機能が装備されています。これらの機能には、パイロメータおよびウェーハステージ用の空冷システム、処理チャンバへの電源の自動シャットオフ、および不規則性を検出するフォルトモニターが含まれます。さらに、5BAO-200は低EMI（電磁干渉）レベルで設計されており、ほこりのない環境のために完全に密閉されたチャンバーがあります。TOKYO ELECTRON 5BAO-200迅速なサーマルプロセッサは、特定の仕様内のサーマルサイクルを管理するために設計されているため、効率的な半導体集積回路の生産のための重要なコンポーネントです。TEL/TOKYO ELECTRON/WAFERMASTERS 5BAO-200は、自動化されたプロセス、熱冷却率制御、ほこりや騒音の防止により、製造効率の向上と製造コストの削減を実現します。