中古 STEAG / MATTSON / AST SHS #9119657 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHSは、半導体製造における便利で正確な温度制御、正確な温度監視、信頼性の高い熱制御を提供するように設計された高度な急速なサーマルプロセッサです。この製品は、プロセス時間を短縮し、歩留まりを改善し、従来の熱工程と比較してエネルギーコストを削減します。この高速サーマルプロセッサは、パネル加熱および冷却、金型硬化およびダイオードレーザー回路開発の高速機能に使用されます。サーマルプロセッサは、-30°Cから250°Cまでの半導体製造で使用される4つの標準温度のいずれかをサポートします。1秒間の標準サイクルタイムと0。01°Cの温度分解能を備えています。この製品は正確な温度制御を提供し、急速冷却を含む多くのプロセス条件に簡単に設定できます。この製品は、優れた動的プロセス制御と独自のPWM （Pulse Width Modulation）技術を備えており、温度オーバーシュートを低減し、熱勾配を最小限に抑え、最適な製品パラメータを保証します。プロセッサには、プロセスが指定された安全温度範囲内で動作することを保証する安全インターロックシステム、ヒートシンク温度を継続的に監視するためのサーモウェルなど、いくつかの安全機能が含まれています。これには、過熱/過電圧の条件下でサーマルサイクルを停止する自動フェイルセーフ機能も含まれています。この製品は、厳しい製造環境に耐える堅牢な材料と耐久性のある構造で作られています。冷たい温度の空気は二重循環ファンによってプロダクトを冷却し、安全な温度レベルを維持するために循環します。その組み込みコンピュータは、運用管理、記録、表示、さらに最適化のための重要なプロセスパラメータの分析を提供します。この製品には、サーマルサイクルパラメータの一般的なプロファイルの生成、カスタム加熱および冷却ルーチンの作成、およびパネルのサーマルプロファイルのイメージの監視のためのソフトウェアも含まれています。これにより、熱プロセスの効率的な動作を可能にし、製品の品質を向上させます。さらに、この製品には、追加の設置柔軟性のためのダイレクトロジックI/Oが付属しており、データ伝送のためにライン内の他のマシンとシームレスに接続することができます。AST SHSは、汎用性の高い機能と最先端の熱処理制御を備え、半導体製造および製造に最適な熱処理プロセッサです。