中古 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #9238081 を販売中

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ID: 9238081
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Rapid Thermal Processor (RTP), 8" Implant annealing AST Super heat system Hardware configuration: Main frame (2) ASYST Indexers 2200 Handler system: PRI Robots Process chamber Aligner Rough pump (AA40): Left Heat exchanger (SMC Chiller): Right 1997 vintage.
STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processorは、材料の微細なスケールでの精密で信頼性の高い再現可能な変更を容易にするために使用される特殊なデバイスです。このツールは、急速な焼戻しと熱環境の正確な制御を必要とする様々なプロセスのための最適化されたソリューションとして立っています。このデバイスは、さまざまなアプリケーションに最適なソリューションとなる幅広い機能を提供します。サンプルの急速な熱内部通電のために設計された共振周波数ドライブは、サンプル全体の予熱時間を最小限に抑えます。必要な温度で、精密な温度調整はサンプルが精密なターゲットで維持されることを保障します。サーマルサイクリングパラメータは、1〜4000秒の1秒単位で設定でき、サーマルヒストリカルプロファイルを細かく制御できます。このデバイスはまた、保護雰囲気処理のための絶縁真空およびガス制御チャンバーを備えています。これにより、サンプルを外部汚染から保護するとともに、サンプル空間内の反応ガスまたは非反応ガスの濃度を制御するための分離された環境が提供されます。メンテナンスのために、チャンバードアの透明な窓は、必要に応じてチャンバへのアクセスを提供しながら、サンプルの直接目視検査を可能にします。AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processorは、12インチまでの小型および大型ウェーハの両方の処理が可能です。このデバイスには、安全警報監視装置が装備されており、安全でない状況が発生したときにユーザーに警告するのに役立ちます。さらに、プロセッサ内蔵の冷却システムは、ユニット温度の安定性を維持し、ダウンタイムを低減するのに役立ちます。全体として、STEAG SHS-2800SF Rapid Thermal Processorは、多くの産業や研究所にとって効率的で信頼性の高いツールです。その静的な真空チャンバーと精密な温度制御により、材料の効率的かつ再現性の高い変更を可能にします。さらに、その効率的な冷却機と安全アラームモニタリングツールは、ユーザーが微細なスケールで素早く材料を変更するための安全で信頼性が高く、効果的な方法です。
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