中古 STEAG / MATTSON / AST SHS-2800SF #293815994 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS-2800SF Rapid Thermal Processor （RTP）は、様々な電気、フォトニック、オプトエレクトロニクス機器に精密な温度制御を提供するために設計された強力で汎用性の高いツールです。AST SHS-2800SFは、独立した2つの高速温度制御ステージを備えた単一の電子コントローラで構成されています。一次段階は、10°Cまでの精度と3〜10秒の応答時間で均一な急速加熱と冷却を提供します。この段階は、急速な熱アニーリング（RTA）、拡散、酸化、およびケイ酸化などのプロセスをサポートするように設計されています。二次段は急速な冷却を提供し、応答時間は4〜15秒、冷却速度は最大1000°C/秒です。この温度制御ステージは、急速な窒化熱や急速な熱酸化などのプロセスをサポートするように設計されています。STEAG SHS-2800SFには、高度な熱電対ベースの温度制御が含まれており、リアルタイムで監視できる正確な温度測定値を提供します。このシステムはまた、シングルショットと連続プロセスサイクルの両方をサポートしており、繰り返し可能で一貫したプロセスを可能にします。コントローラーは密封された窒素パージされたキャビネットで囲まれ、温度安定性および制御の付加的なレベルを提供します。空冷エアロックは追加の保護層を提供し、チャンバーの雰囲気を維持しながらRTPへの基板の移動を可能にします。MATTSON SHS-2800SFは、正確な温度制御プロセスのための強力で汎用性の高いソリューションを提供します。均一な加熱と冷却で温度を正確に制御することが可能であり、高度な温度制御システムは繰り返し可能で一貫したプロセスを提供します。この高性能装置は、様々な電気、フォトニック、オプトエレクトロニクスデバイスのプロセス開発と製造にとって貴重なツールです。