中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092863 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processorは、幅広い産業および研究用途向けに設計された熱処理装置です。最大厚さ0。2mmの直径6インチまでのウェーハ加工に適しています。それは1100°Cまでの温度を渡すことができる炉の組によって熱される単一の部屋を含んでいます。これらの炉は、基板全体に均一な加熱を提供するために、チャンバーの上下に位置しています。また、高い熱均一性、高いランプレートの柔軟性、幅広いプロセスガス、幅広い処理圧力範囲（50mbar C）を備えた精密な温度制御を備えています。また、9種類のガスを運ぶことができる4つのガスラインと統合されたガス管理ユニットを持っています。単位は自動化され、効率を最大にするために複数の調理法とプログラムすることができます。このマシンには、自動化されたハッチ負荷/アンロードツールと、プロセス実行ごとに最大30個のウェーハのウェーハ処理アセットが装備されています。また、サンプル表面のデュアルビュー用のプロセスモニタも備えています。さらに、運転中の潜在的な損傷から人員、ユニット、および基板を保護するための高度な安全機能を備えています。これらには、すべての安全装置コンポーネント、過熱警報、窒素入口および出口フロー検出器、および強力な真空コントローラの自動監視が含まれます。熱処理システムは、分散制御ユニットであるPROCO Plus Interfaceを介してエンドユーザーソフトウェアと通信します。これにより、2800Eの統合グラフィカルユーザーインターフェイスを使用してリアルタイムプロセスを監視し、リモートからウェーハプロセスを実行するためのプログラムをセットアップできます。AST SHS 2800E Rapid Thermal Processorは、高温処理とウェハレベルの製造のための先進的な機械です。それは優秀な温度調整の基質の均一そして一貫した暖房、また人員、単位および基質を保護する信頼できる安全機能を提供します。それは多くの産業および研究の適用のために適し、自動化された操業のための調理法とプログラムすることができます。