中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092862 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processorは、極端な温度でウェーハやその他の半導体基板を処理するために使用される特殊な装置です。装置は2つの主要な部品を含んでいます：部屋および消滅器。チャンバーは、真空耐性、二重壁チャンバー、内部シュラウド、基板に集中熱を漏斗するのに役立ちます。消散器は、最大1200°Cの温度を生成するために個別にプログラムされた9つの発熱体の配列です。加熱素子のタイトな制御と高速応答により、AST SHS 2800Eクラスで最も汎用性の高いマシンとなります。STEAG SHS 2800Eは、主に半導体の製造に使用され、急速熱アニーリング、拡散、不純物の埋め込みに使用されます。最先端のヒートサイクル制御装置により、プロセスパラメータやウェーハを変更しても、最大9サイクルの精度で実行できます。この温度制御精度により、SHS 2800E、ポリシリコンゲート活性化、金属相互接続形成、SOIデバイス処理などの複雑なプロセス工程に理想的な機械です。また、ウェーハを基板上に素早く簡単に配置できるように、小型の可動プラットフォームも内蔵しています。さらに、真空チャンバー内で複数の蒸発を可能にする高度な蒸化器の制御システムがあります。さらに、リアルタイム診断ユニットをユニットに統合し、プロセスパラメータ、温度、ガス圧力、基板温度に関する詳細なフィードバックを提供します。MATTSON SHS 2800Eはコンパクトなサイズで、チャンバーの冷却を最適化するための内蔵空調機が付属しています。トータルプロセス速度は1時間あたり最大200ウェハで、このユニットは非常に効率的であり、半導体製造に最適です。また、ユーザーフレンドリーなコントロールツールも付属しています。プログラムと理解が簡単で、産業および研究室にも最適です。要約すると、STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E Rapid Thermal Processorは、市場で入手可能な最も信頼性が高く効率的なマシンの1つです。高精度の温度制御とマルチサイクルプログラミング機能により、あらゆるウェーハ処理アプリケーションに最適です。