中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E #9092861 を販売中
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AST 2800Eは、誘電層、貴金属層、基板上の堆積層などの用途で使用される、堅牢で汎用性が高く信頼性の高い急速熱処理装置(RTP)です。このRTPは、わずか30ミリ秒で最大1000°Cの温度に達することができ、高精度、低サイクルタイム、および優れた再現性を提供します。2800Eは、特許取得済みの高速プラズマヒーターを使用し、基板の急速熱処理を実現しています。洗練されたソフトウェアパッケージと組み合わされたこのユニークな機能は、幅広い温度範囲で優れた温度均一性と再現性を保証します。RTPは、精度、急速加熱または冷却、アニーリングまたは酸化プロセスのシミュレーションを必要とするアプリケーションに最適です。2800Eの洗練されたソフトウェアパッケージにより、複数の再現可能な温度プロファイルを作成し、後で使用するために保存することができます。また、RTPをプログラムして、堆積プロセスなどのアプリケーション用のマルチセグメント温度プロファイルを構築することもできます。2800Eはコンパクトで効率的に設計されており、使いやすく維持しやすいです。RTPは真空封筒を使用して酸化と汚染を低減し、熱効率を高めます。また、2800Eには囲まれたメンバーシステムも備えており、さまざまな環境で動作可能です。この汎用性と信頼性により、2800Eは急速な熱処理アプリケーションに最適です。2800Eは、最高品質の材料で構築され、優れた性能を提供するために作られています。RTPは、堅牢で正確な温度制御、優れた温度均一性、および優れた温度再現性を備えています。The2800Eは卓越したパフォーマンスと信頼性を提供し、最適なパフォーマンスを必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。
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