中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800E / 2800 CS #9179203 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800E/2800 CSはマルチゾーンラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。この装置は、エネルギーが豊富な赤外線プラズマを利用して、ウェーハを急速に加熱、冷却、アニール、およびその他の処理するように設計されています。生産環境向けに構築された高精度で信頼性の高い機器です。イオンインプラント対応機器は、精度と精度で最も複雑な構造でも迅速に処理できます。プロセッサのマルチゾーン設計には、3つの独立した加熱、表面冷却、冷却ゾーンが組み込まれています。各ゾーンにはソリッドステートリレーが装備されており、高速で均一な温度サイクルが可能です。プロセッサコントローラの急速な処理速度と相まって、これらの機能は効率的な熱処理シーケンス実行を提供します。AST SHS 2800E/2800 CSの軸シャワーヘッドシステムは、プロセッサの重要な機能です。高速強制空気対流ユニットを採用し、小型ウェーハと大型ウェーハの両方で高均一なサーマルプロファイルを実現しています。また、強制空気対流機は透明な石英シールドと組み合わされ、処理中のウェーハの裏側充電の蓄積を最小限に抑えることができます。STEAG SHS 2800E/2800 CSには、自動シャットオフやプロセス環境の継続的な低レベルのリアルタイム監視など、さまざまな安全機能が搭載されています。これらの機能は、プロセッサが安全かつ確立された安全ガイドライン内で動作することを保証します。その熱処理機能に加えて、SHS 2800E/2800 CSは、ガス供給、レーザダイシングなど、さまざまな添加加工必需品とも互換性があります。このプロセッサは、PEDOT： PSS、化合物半導体製品用のバッファ層など、さまざまなプロセスに使用できます。MATTSON SHS 2800E/2800 CSは、信頼性と再現性の高い結果、高効率、低コスト動作、および高速サーマルサイクリングを提供する高性能マルチゾーンRTPです。この汎用性の高い機器は、さまざまなアプリケーションに適しており、幅広いウエハ構成を迅速かつ効率的に処理できます。