中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #9096061 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800は、ウェーハおよび基板の迅速かつ正確な熱処理のために設計された先進的な急速熱処理プロセッサ（RTP）です。それは急速な熱アニーリングおよび急速な熱酸化プロセスのための最先端の用具です。AST SHS 2800は、太陽エネルギー条件を正確に制御する均一なシステムでの高速熱処理を可能にします。各部屋に望ましい組合せでプログラムすることができ2400°C。の最高温度に達することができる2つの独立した温度帯があります。STEAG SHS-2800のユニークなデザインは、クロスコンタミネーションを防止し、粒子生成の影響を制限し、敏感な基板を保護します。このツールは、さまざまな高度な診断機能を備えており、ウェーハ温度、ガス流量、チャンバ内部の圧力などの変数を精度と精度で測定することができます。また、潜在的な危険を防ぎ、安全な動作を保証するさまざまな安全機能を備えています。MATTSON SHS 2800は、1時間あたり200 300mmまたは400 200mmウェーハまで処理でき、迅速なターンアラウンドを保証します。また、シングルウェーハ投与プラットフォームを備えており、一貫したウェーハ加熱を保証し、熱暴走を排除します。さらに、このツールは、基板の優れた精度を提供し、正確な温度制御と均一性を必要とします。SHS 2800 Rapid Thermal Processorは、高度な診断機能と安全機能を備えた高速な熱処理を保証し、安全で効果的な操作を保証します。最高温度2400°Cの優れたプロセス均一性と潜在的な危険に対する保護機能を提供します。最後に、シングルウェーハドーシングプラットフォームは、基板全体の加熱の高速スループットと一貫性を保証します。