中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #293813733 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800は、研究開発、生産、テスト/修理など、さまざまなマイクロエレクトロニクス用途で使用される産業用グレードの高速サーマルプロセッサ（RTP）です。AST SHS 2800は、高品質で高性能なマイクロデバイスの製造を可能にするために、幅広い温度範囲で精密で再現可能な熱制御を提供するように設計されています。STEAG SHS-2800は、急速なサーマルアニーリング（RTA）、急速なサーマルドーパント活性化（RTDA）、急速な熱酸化（RTO）、急速な熱拡散（RTD）、急速な熱窒化（RTN）、急速な熱窒化/酸化（R。基板温度モニタリングシステムとマルチゾーン温度制御を内蔵しています。温度範囲は-75〜+650°Cで、最大ランプレートは15°C/sです。STEAG/MATTSON/AST SHS-2800は、ウェーハキャリアのための複数のオプションを備えています。これらのキャリアは、直径200mmまでのさまざまな基板に使用できます。MATTSON SHS-2800には、サンプル加熱用の200W、石英ハロゲンランプも装備されています。このシステムには、ガス配送のための複数のオプションが装備されており、ユーザー定義のパターンでガス配送を正確に制御し、正確なプロセス制御を行うことができます。STEAG SHS 2800にはガスミキサーモジュールが搭載されており、モジュールあたり最大5個のガスと完全にユーザー定義されたガス混合物が同時に供給されます。SHS 2800にはオプションのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も含まれており、すべてのプロセスパラメータを正確に監視および制御できます。温度およびガス組成プロファイルを含むプロセスパラメータのリアルタイムグラフィックスを提供します。また、プロセスの最後に自動シャットオフ機能を備えた自動ウェーハロード/アンロードシステムも提供します。SHS-2800は、すべてのプロセスパラメータの正確なリアルタイム制御と、熱およびガスの結果のデータロギングを提供します。これは、操作とメンテナンスの容易さのために設計されており、安全性と信頼性の究極のためにクラス100クリーンルームフレームに収容されています。全体として、AST SHS-2800は、精密な熱制御と均一性を必要とするあらゆるマイクロエレクトロニクスアプリケーションに理想的な選択肢です。ユーザー定義のプロセスパラメータと幅広い温度により、高品質で高性能なマイクロデバイスを製造できます。