中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2800 #293770992 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2800は、ウェーハ加熱用途向けに設計された強力な高速サーマルプロセッサ（RTP）です。革新的な機能を備え、高度な技術を搭載しており、さまざまなプロセス温度にわたって高温の均一性を提供します。この装置は、再現性と再現性のあるアニール、拡散、活性化プロセスのために設計されています。AST SHS 2800は、4。3インチのタッチスクリーンディスプレイを備えた完全にプログラム可能なコントローラを備えており、ウェーハ加熱プロセスを簡単に設定および監視できます。コントローラには、強力なデータ分析およびシステム監視機能も含まれており、ユニットのパフォーマンスをリアルタイムで監視および最適化できます。STEAG SHS-2800は、エネルギー節約に役立つ不活性ガスブランケット機能や温度プログラミング機能などの省エネ機能を提供しています。また、デュアルステートの加熱制限、ホットガスパス警告、ホットエッジ検出など、いくつかの安全機能も備えています。危険な熱暴走レベルを防ぐことにより、これらの安全機能は、マシンの安全な動作を確保し、貴重なウェーハを保護するのに役立ちます。MATTSON SHS-2800には、急速なサーマルサイクル時間と優れた温度均一性を提供する高効率ターボポンプが装備されています。ターボポンプは、ターゲット温度で時間を制御することにより、ウェーハからウェーハまでの一貫した結果を得るのに役立ちます。SHS-2800はまた、より大きな工場環境に統合することを可能にする内部通信ポートを備えています。これにより、データ分析やトラッキングシステムなどの他のシステムと容易に統合でき、効率的かつ効果的なデータウェアハウスが可能になります。全体として、SHS 2800はウェーハ処理用途向けに設計された先進的な急速サーマルプロセッサです。強力な機能を搭載し、高度な技術で構築されたAST SHS-2800は、生産プロセスの合理化と最適化に役立つ信頼性、再現性、一貫した結果を提供します。