中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #9155403 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2000は、半導体メーカーが高品質の半導体ウェーハを効率的に製造するために設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。強力な赤外線ランプとエアジェットシステムを使用して、ウェーハの表面を急速に熱的に処理します。急速熱処理は、ウェーハ上で異なる処理状態を作成するために使用される半導体生産の重要なステップです。AST SHS 2000は、さまざまなニーズに最適化できるモジュラーRTPシステムです。それはランプのエンクロージャ、プロセス制御モジュールおよび冷却フレームから成っています。ユーザーがプロセスに最適なエネルギー範囲と電力要件を選択できるように、さまざまなランプが利用可能です。プロセス制御モジュールは、理想的な処理条件を作成するために正確かつ再現可能なサーマルランプ、浸漬およびクールダウンプロファイルを保証します。調節可能なファン速度を備えた内蔵の冷却フレームは、ウェーハの表面温度を迅速に下げるのに役立ちます。機械はまた作動すること非常に容易です。タッチスクリーンを備えた独自のグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して、迅速かつ正確なパラメータと設定調整を行います。また、GUIは品質を犠牲にすることなくスループット速度を最大化します。さらに、STEAG SHS-2000はメンテナンスコストと部品の可用性が低いため、長期的に信頼性とコスト効率を確保できます。MATTSON SHS 2000は、中小規模のウェーハを迅速かつ正確に処理しようとする半導体メーカーにとって、効率的で費用対効果の高いソリューションです。使いやすさ、低メンテナンスコスト、モジュール設計により、AST SHS-2000半導体製造の合理化に最適です。