中古 STEAG / MATTSON / AST SHS 2000 #293639177 を販売中

STEAG/MATTSON/AST SHS 2000ラピッドサーマルプロセッサは、様々な材料で熱処理を行うための高精度な装置です。プロセッサはさまざまなコンポーネントで構成されており、すべてが複雑で細かく調整された方法で協力して、望ましい結果を達成します。このプロセッサは、基板のローディングとアンロードのプロセスを合理化するために構築された単一のオートローダを備えています。この機能は、直径8インチまで可能な最大12のクォーツウェーハを保持することができます。ウェーハは回転する構成で配置されており、高速かつ効率的な積み下ろし方法を提供します。プロセッサはまた、熱処理を行うための2ゾーン、マルチゾーンチャンバーを備えています。2ゾーンチャンバーは、一貫した温度と均一な加熱と冷却を提供するように設計されており、望ましくない変動を排除します。マルチゾーンチャンバーは、基板のさまざまな部分に異なる温度を適用するためのオプションを提供し、結果を制御することができます。プロセッサはまた、RFチューニングランプまたはLEDランプを使用して、処理中の基板に必要な熱の供給源を提供します。ランプは、アプリケーションのニーズに合わせて特別に調整できる調整可能なDC電源によって駆動されます。プロセッサはまた、温度制御システムを介して基板の正確な温度と熱プロセスの正確なパラメータを監視することができます。温度インジケータとデータロガーを使用してこの機能を提供し、ユーザーは正確なデータを表示できます。最後に、プロセッサには、ユーザー、基板、および機械自体を保護するさまざまな安全機能があります。これには、望ましい温度制限を超えないように基板の温度を監視および制御する温度保護が含まれます。また、緊急停止ボタンがあり、緊急時の即時停止が可能です。これらの機能に加えて、プロセッサは独自のソフトウェアと直感的なユーザーインターフェイスを使用して、効率的で正確な操作を可能にします。これらの組み合わせにより、高効率で信頼性の高い急速なサーマルプロセッサが作成され、一貫した高品質の結果が得られます。