中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9281783 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、集積回路の製造に使用される高速サーマルプロセッサ（RTP）です。AST Heliosは、集積回路製造プロセス中にウェーハまたは基板の温度を素早く上昇または低下させるために使用されます。このプロセスは熱処理として知られています。STEAG Heliosは、ミクロン精度のエペックスアライメント装置を備えており、基板ごとに必要な温度を素早く達成し、正確な結果を保証します。これは、基板上の各プラットフォームが同じ設定点温度を実現することを保証するため、集積回路製造にとって重要です。Heliosは、温度目標を達成するために直接ガス加熱とプラズマ処理の組み合わせを利用しています。ダイレクトガス加熱システムにより、MATTSON Heliosは1万ワット以上の熱エネルギーをウェーハに伝達することができ、設定された温度ポイントに迅速に到達することができます。このプラズマ処理により、STEAG/MATTSON/AST Heliosはウェハ全体にわたって均一な温度を達成することができます。AST Heliosには、温度制御ユニット、暖房室、ガス供給ユニットの3つの主要なセグメントがあります。温度制御ユニットは、温度レベルを監視および維持し、± 5。5°Cの精度で200°C〜1000°Cの温度範囲を提供します。ガス供給機は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの特殊ガスをチャンバーに供給するために使用されます。STEAG Heliosは、加熱ブランケットと呼ばれる二次加熱ツールも備えています。この資産はプロセス部屋を通して循環する熱いガスを利用し、外部からの影響からの絶縁を提供します。同時に、加熱されたブランケットは、急速な温度変化の間にプロセス室が経験するストレスと負担を軽減するのにも役立ちます。ヘリオスは、高精度で効率的な熱処理モデルを集積回路メーカーに提供し、欠陥を低減し、プロセス時間を向上させます。これにより、顧客満足度が高くなり、集積回路製造設備の重要な部分となっています。