中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9281781 を販売中

ID: 9281781
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2004
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2004 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Heliosは、生産および研究アプリケーション向けに設計された先進的な急速熱処理プロセッサ(RTP)です。ミリ秒の精度と精度で、わずか850°Cを超える温度まで短時間でサンプルを加熱することができます。このデバイスには完全に自動化された制御装置が装備されており、高い均一性で再現可能な結果を得ることができます。AST Helios RTPには高度な2ゾーン加熱設計が付属しており、各ゾーンを独立して実行できます。これにより、加熱工程においてより高い均一性と精度を実現することができます。2つのチューブのそれぞれには、堅牢なグラファイト絶縁マトリックスとタングステンフィラメントが含まれており、熱特性を向上させることができます。信頼性を高めるために、システムには高度なフィードバックループと制御ユニットが装備されており、非常に高速な応答と正確な温度調節を可能にします。STEAG Helios RTPは、高度な熱酸化機能を備えており、材料の高いスループットと低温の酸化を可能にします。このツールは、半導体デバイスの生産など、高い酸化プロセスを必要とするアプリケーション向けに特別に設計されています。また、急速な結晶成長や薄膜蒸着など、精密な熱制御を必要とする他のプロセスにも適しています。Helios RTPには高度なマルチスペクトルイメージングアセットが含まれており、サンプル温度と酸化状態を正確に監視および制御できます。このモデルは他のソフトウェアおよびハードウェアシステムと組み合わせることができ、ユーザーは特定のアプリケーションに熱処理を最適化することができます。MATTSON Helios RTPはクリーンルーム用に設計されており、プロセスを実行するための非常に安全な環境を提供します。これには、高いレベルの環境制御と、有害な電気的および静電気排出物に対する堅牢な保護が含まれます。これにより、熱処理の制御が改善され、機器の寿命が長くなります。全体として、STEAG/MATTSON/AST Heliosは高度で信頼性の高いサーマルプロセッサです。それは性能および正確さの高い程度を提供し、いろいろなハイテクな熱処理の適用に適しています。
まだレビューはありません