中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9275252 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、サーマルアニーリングおよびウェーハ加工に使用される高度な急速熱処理プロセッサです。それは大きいおよび小さい特徴の優秀な温度の均等性そして高い率のアニーリングのための先端技術に造られます。このプロセッサは、ディスクリート部品とウェーハの両方に幅広いアニール温度と高速スループットを提供します。AST Heliosには6 「X 6」ホットゾーンが付属し、直径300mmまでのウェーハを加熱できます。STEAG Heliosの革新的なデザインにより、あらゆる材料を効率的にアニールできます。その強力な直接加熱技術は、精密なプロセス制御によって優れた温度均一性を生み出します。高度な温度制御装置は、事前に選択された領域の温度が正確かつ一貫していることを保証し、アニーリングプロセスをより効率的かつ均一にします。MATTSON Heliosはまた、毎秒最大1000°Cの最大ランプレートで、急速な熱処理を提供します。これにより、個々のサーマルサイクルのプロセス速度とターンアラウンドタイムが向上します。さらに、リアルタイムウェハモニタリング、高度な温度プロファイリング、疲労試験など、さまざまなプロセス監視システムも備えています。その他の機能としては、信頼性の高い冷却ユニット、アニールプロセスを制御するための専用ソフトウェア、および自動アライメントマシンがあります。また、ヘリオスには窒素/ヘリウムパージラインオプションが統合されており、迅速な予熱を可能にし、酸化および汚染から敏感な材料を保護します。ウェーハの過剰処理を防ぐための保護および安全ツールが内蔵されています。STEAG/MATTSON/AST Heliosは、定期的に使用していてもメンテナンスが容易に行えるように設計されています。柔軟な使いやすさと高い資産稼働時間は、AST Heliosの他の利点のいくつかです。これらのすべての機能により、STEAG Heliosはあらゆる熱処理アプリケーションに最適です。