中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273943 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosはアニール、酸化物、窒化物および拡散のような温度プロセスの広い範囲を支えるように設計されている急速な熱プロセッサです。業界をリードするこのツールは、熱プロセスに正確な熱制御、正確な温度均一性、高速サイクルタイムを提供します。また、柔軟なプログラミングオプションを提供し、複数のプロセスステップのレシピを保存してリコールすることができます。AST Heliosは、優れた温度均一性と制御を提供するいくつかの高度な機能を備えています。ヒーターのパワーを別々に制御する2段加熱システムを採用し、精密な温度制御を実現するために様々な制御アルゴリズムを採用しています。また、加熱素子は温度の変動に対して高い許容差を持ち、広範囲の反復可能なプロファイルを提供します。また、STEAG Heliosは、高温にすばやく到達し、ウェーハ全体に均一な温度分布を確保するために、統合された圧力制御圧力チャンバを採用しています。また、温度センサーと最大1000Cまでの温度に耐えることができる圧力チャンバーを備えています。このシステムは、プロセス時間が短く精度が高い急速な熱循環を実行し、プロセスの再現性が向上します。また、ウェーハのリアルタイムサーモグラフィーと象限モニタリングを備えており、ユーザーはプロセスの進捗状況を観察および監視することができます。Heliosは、高度なデータ収集、信号取得、制御ソフトウェアを使用して、システムをリモートおよびネットワーク上で監視および制御できます。このソフトウェアは、プロセスを中断することなく、熱サイクルの簡単なリモート修正を可能にします。MATTSON Heliosは確かに市場で最も堅牢で信頼性の高い高速サーマルプロセッサの1つです。その優れた温度制御と均一性、および高速サイクルタイムと柔軟なプログラミングオプションにより、熱処理に最適です。