中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9273940 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、半導体業界向けに設計された先進的な急速サーマルプロセッサエンジンです。これは、ウェーハ全体および単一のロードマップのさまざまな温度再生にわたって高い熱均一性を提供することができます。AST Heliosはまた、優れたウェーハスループットと高い再現性を提供します。STEAG Heliosは、高出力の2000 W放射熱源と冷却フラッシュ技術を使用して、基板に迅速な熱処理を提供します。また、基板とプロセス室の壁の干渉を排除する独自の特許取得済みコールドウォール設計も含まれています。これにより、使用時間が大幅に短縮され、サイクルタイムが大幅に短縮されます。Heliosには、デジタル熱制御メッセージバス（DTM-Bus）と予測熱制御メッセージング（PTM）を利用する印象的な制御システムがあります。これにより、すべての重要なプロセスパラメータを正確にクローズドループ制御することができ、急速な熱処理のための新しい標準を設定します。また、高度な障害管理システムや高度なプロセスパラメータ監視など、さまざまな高度な診断機能を備えています。MATTSON Heliosには、オープンシステムアーキテクチャ、組み込みの安全インターロック、および常に最大限の安全を確保するための包括的な緊急停止など、さまざまな改善された安全機能があります。全体として、STEAG/MATTSON/AST Heliosは、高度な技術と最先端の設計を備えた優れた急速なサーマルプロセッサです。ウェーハスループットの向上と高い再現性を費用対効果の高い方法で実現し、RTP、 WTL、アニーリング、酸化、拡散、およびその他のSiCプロセスアプリケーションに信頼性が高く、柔軟で安全なソリューションを提供します。