中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270998 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、高速サーマルプロセッサ（RTP）で、シングルバッチの小さなバッチでウェーハサンプルを急速に加熱および冷却するように設計されています。このRTP装置は、低圧チャンバー、炉アセンブリ、電界変調器、および大気圧変調システムの4つのコンポーネントで構成されています。低圧チャンバーは、温度制御され、乾燥した密閉された雰囲気を提供します。ファーナスアセンブリは、ウェーハサンプルの均一で迅速な加熱と冷却を可能にします。これは、サンプルのバックプレートで分離された複数の加熱および冷却されたヒーターで構成され、温度プロファイルを作成します。これにより、サンプルの温度制御と分布を正確に行うことができます。電界変調器は、試料全体のウェハの電界を変化させ、電子穴の密度比を調節するために使用されます。これにより、サンプルに均一な熱処理が適用されます。最後に、大気圧の変化ユニットは、冷却または加熱プロセスを正確に制御するためにチャンバー圧力を正確に制御することができます。AST Heliosは、摂氏120〜1000度の温度に2分未満で到達することができます。SmartMonitorソフトウェアを使用すると、ユーザーは複数の処理レシピと負荷をプログラムでき、プロセスの進行状況を直接またはリモートで監視できます。さらに、STEAG Heliosは、ユーザーとサンプルを保護するために設計されたさまざまな安全機能を備えています。これらには、不活性ガス充填接続、チャンバーの強制空冷、温度アラーム、煙検出機が含まれます。MATTSON Helios RTPツールは、迅速な処理、サンプル温度のほぼ均一性、安全性の向上、正確な制御など、いくつかの利点を提供します。この急速熱処理装置は、半導体、材料研究、プロセス開発、デバイス製造などのさまざまな業界で使用できます。