中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9270883 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、高速、高精度の温度制御を提供する高速サーマルプロセッサ（RTP）です。AST Heliosは、放射冷却による対流、抵抗加熱、冷却を組み合わせて、ウェーハを急速に加熱して冷却します。3つの独立した制御可能なチャンバーを備えているため、サンプルの温度処理を高速化できます。特許取得済みの窒化物加熱素子とインテリジェントなマイクロプロセッサ制御ロジックを使用して、STEAG Heliosは、オーバーシュートと熱CAE時間を最小限に抑えた正確な熱性能を発揮します。MATTSON Heliosは、最新のデバイス製造に必要な高精度を実現するために、均一で反復可能な温度プロファイルを提供するように設計されています。温度プロファイルの精度と均一性は、放射線中の光学的に検出可能な抵抗パターンによって裏付けられています。さらに、Heliosは正確な温度オーバーシュート制御が可能です。直感的なソフトウェアインターフェイスを介してプログラム可能なSTEAG/MATTSON/AST Heliosは、さまざまなデバイスのタイプに対応するために、加熱および冷却サイクル用の複数の波形選択も提供します。AST Heliosは、ウェーハ表面の熱応力を最小限に抑えるために、急速な加熱および冷却時間を提供するように設計されています。さらに、STEAG Heliosは内部ファンを使用して、優れた空気循環と冷却性能を提供します。MATTSON Heliosは省スペース設計で、狭いスペースに簡単に設置できるため、研究開発環境と生産環境の両方に最適です。ヘリオスの設計により、比較的メンテナンスが低く、メンテナンスのためにチャンバーに簡単にアクセスできます。全体として、STEAG/MATTSON/AST Heliosは、幅広い環境で信頼性の高い精密温度制御を提供する強力でコンパクトな急速なサーマルプロセッサです。AST Heliosは、研究開発と生産の両方の設定に最適で、正確な温度プロファイルとウェーハ上の熱応力の低減を保証し、精密デバイス製造に不可欠なツールです。