中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9256880 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、半導体ウェーハの高度な熱処理のために設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。短パルスマイクロ波、レーザー定格、プラズマ加熱を利用して、迅速な熱アニーリング（RTA）、デバイス製造のための酸化および沈着などの熱処理を迅速かつ効率的に実行します。AST Helios RTPは、研究開発と量産のために設計されており、幅広い温度範囲にわたって柔軟かつ信頼性の高い温度制御を備え、高い再現性を提供します。STEAG Helios RTPは、平面石英高輝度ランプ技術に基づいて、水平メタルハライドランプを使用した超急速な熱処理を提供します。また、ウェーハに光を向けるための可変角度反射器も備えています。反射角の調整により、ランププロファイルをウェーハ位置とウェーハ高さに合わせて最大限の均一性を実現します。MATTSON Heliosは、ウェーハ全体で正確な温度均一性を確保するための高度な熱制御装置を備えています。熱管理システムは、赤外線温度センサ、温度フィードバックループ、および高速動作温度コントローラで構成されています。急速な熱窒化（RTN）のような強い熱過程のために、Heliosはまたオペレータの安全を保障するために温度のオーバーシュートの保護を特色にします。また、オンウェハインストゥルメントを使用して2つの波長を連続的に監視する多波長測定技術を使用して、プロセス性能をさらに最適化します。これにより、プロセス全体にわたって温度設定ポイントを正確に制御できます。STEAG/MATTSON/AST Heliosは、ウェーハの大気を制御するための統合ガス供給ユニットも備えています。酸化、堆積、アニーリングプロセスのための様々なガスをサポートし、顧客の要求を満たすために変更することができます。AST Heliosには、お客様がプロセスをカスタマイズできる幅広いアクセサリーもあります。このようなアクセサリには、ウェーハの回転、アームの拡張、イメージングシステム、温度およびガス監視システムなどがあります。これらの機能はすべて、比類のない柔軟性と優れたプロセス性能をお客様に提供します。結論として、STEAG Heliosは、半導体ウェーハの高スループットかつ高精度な熱処理を実現するために設計された、高度な高速サーマルプロセッサです。MATTSON Heliosは、超高速加熱率、精密な温度制御、フレキシブルガス搬送機を組み合わせることで、様々な熱処理において優れたプロセス性能を発揮します。