中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9255871 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、半導体デバイス製造用の高温加熱ソリューションを提供するために構築された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。RTPは、基板の温度を、周囲から設定された最大温度まで、数分で急速に変化させることができます。これは、目的の温度を効率的に生成するために最適化された波長範囲で、基板の放射ベースの加熱を使用して動作します。RTPは、基板全体にわたって温度プロファイルを生成することができるため、基板のアニール処理にも使用できます。ASTヘリオス装置は、マイクロ波発電機、マイクロ波アンテナ、反応チャンバーの3つのコンポーネントで構成されています。発電機には、電力をマイクロ波に変換するために必要な部品が含まれています。反応室内には、マイクロ波を基板に集中させる石英反射器が配列されており、基板によるエネルギー吸収を調節します。水晶反射板は、非均一なエネルギー吸収を低減する方法で配置され、基板全体に均一な温度プロファイルを提供します。正確な温度制御のために、STEAG Heliosシステムには自動温度コントローラが装備されています。これにより、マイクロ波発電機の電力が自動的に調整され、所望の温度が維持されます。このユニットはまた、冷却用の加熱ガスの流れを制御するためにマスフローコントローラを使用しています。これにより基板を素早く冷却することができ、装置の過熱や熱損傷を防ぎます。ヘリオスマシンは、信頼性が高く効率的な急速サーマルプロセッサです。基板全体に均一な温度分布を提供することができ、電子機器の急速な熱アニーリングに最適です。さらに、精密な温度制御と効率的な冷却により、製造メーカーは高品質のデバイスを効率的かつ費用対効果の高い方法で製造することができます。