中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9241199 を販売中
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STEAG/MATTSON/AST Heliosは、汎用処理と特殊なアプリケーションの両方に使用される急速なサーマルプロセッサです。材料を短時間で高温に素早く加熱し、正確な温度プロファイルを提供することができます。AST Heliosは、さまざまなRFジェネレータとスイッチギアを使用して、一定またはプログラムされたレートで正確な温度を素早く加熱およびサイクルします。このプロセスは、熱電対と光放射分光法を使用して監視され、正しい温度が達成されることを保証します。さらに精度を高めるために、熱伝導性セラミックミラーを使用して、RF発電機によって生成される赤外線を反射します。高熱フラックス率と高精度な温度制御により、STEAG Heliosは他の多くの熱処理法よりも素材を高速に処理できます。これにより、サイクル時間が短縮され、スループットが向上します。さらに、低温活性化アニーリング、拡散結合、拡散コーティングなどのプロセスにも使用できます。ヘリオスのモジュラー設計によりカスタム構成が可能となり、半導体製造、マイクロエレクトロニクス製造、触媒表面改質など幅広い用途で使用できます。制御システムも高度にカスタマイズ可能で、ユーザーはさまざまな材料のレシピで特注の加工レシピをプログラムすることができます。MATTSON Heliosには、デバイスとそのコンポーネントの安全な動作を確保するための追加の安全機能も装備されています。これらの機能には、過熱および過電流安全システム、非常停止ボタン、および過熱状態の場合にRFジェネレータとスイッチギアをシャットオフする高温保護システムが含まれます。STEAG/MATTSON/AST Heliosは、高精度で高品質な加工を必要とするお客様に最適なソリューションです。モジュラー設計とカスタマイズ性により、幅広い用途に適しています。さらに、その厳しい温度制御と高い熱流束レートは、利用可能な最も効率的な急速なサーマルプロセッサの1つになります。
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