中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9219516 を販売中

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ラピッドサーマルプロセッサー
製造業者
STEAG / MATTSON / AST
モデル
Helios
ID: 9219516
ウェーハサイズ: 12"
Standalone rapid thermal processing (RTP) system, 12" Process: RTA / Spike anneal Process pressure: ATM Process temperature: 115°C Clean room interface: Front interface with (3) loadports Front end configuration: Ball room Platform: Loadport type: TDK Loadport model: TAS300 FOUP Reader: RFID Automation: OHT (E84) GEM Ethernet (HSMS) MMC MATTSON P/N: 3001068 Sequencer MATTSON P/N: 17002560 I/O Controller MATTSON P/N: 17000910 (8) Cooling stations (4) Dummy stations Robot: RORZE 700 Dual arm: Upper arm: Metal blade Lower arm: Quartz blade Process module 1: Wafer pyro MATTSON P/N: 17001048 Lamp pyro MATTSON P/N: 17001040 Gas 3: UFC 8100, N2, 20 SLM Gas 4: UFC 3101, N2, 150 SLM Gas 7: UFC 8100, O2, 20 SLM Gas 8: UFC 3101, O2, 150 SLM Gas 9: UFC 8100, O2, 2 SLM Low temperature controller: No Process quartzware: Standard Process module 2: Wafer Pyro MATTSON P/N: 17001048 Lamp Pyro MATTSON P/N: 17001040 Gas 3: UFC 8100, N2, 20 SLM Gas 4: UFC 3101, N2, 150 SLM Gas 7: UFC 8100, O2, 20 SLM Gas 8: UFC 3101, O2, 150 SLM Gas 9: UFC 8100, O2, 2 SLM Low temperature controller: No Process quartzware: Standard Electrical requirements: UPS: Internal Transformer power: 480 V.
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STEAG/MATTSON/AST Heliosは、急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。急速熱アニーリング（RTA）、急速熱窒化（RTN）、急速熱酸化（RTO）など、さまざまなプロセスを処理するように設計されています。高い制御と精度でこれらのプロセスを実行する能力は、半導体デバイス製造のための非常に貴重な機器になります。AST Heliosにはさまざまな機能があり、多くのプロセス要求に適しています。これは、RTAやRTNなどのプロセスのためにミリ秒で2000°Cまで温度を傾ける能力を持っています。その温度制御システムは、ソフトウェアで0。1°Cの解像度、およびハードウェアで0。5°Cの解像度にプロセス全体の温度を正確に制御することができます。このシステムはまた、温度を監視し、プロセス中の安定性を確認するための熱画像カメラを備えています。また、最大8つのクォーツウェーハキャリアに対応し、処理用の最大100mmのウェーハサイズまでサポートできます。このユニットには、半導体デバイス製造のための信頼性と安全性の高いツールとなるいくつかの安全機能が装備されています。複数のセンサーがプロセス環境条件を監視し、機械制御に継続的なフィードバックを提供します。フィードバックにより、プロセスの実行中に安全で一貫した環境が確保されます。このツールTECは、すべての安全および温度要求に対応するように設計されており、独自のサーマルセンサーとアセットコンポーネントによって監視および分離されています。制御モデルには、機器への不正アクセスを防ぐために、設定可能なコントローラロックと認証システムも備えています。STEAG Heliosは、高品位の半導体デバイスを製造するために、商業および学術の両方の多くの産業で使用されてきました。高精度の制御と再現可能なプロセスを提供することができるため、デバイス製造にとって貴重なツールとなります。その複数の安全システムと熱制御、ならびにサーマルイメージング機能により、MATTSON Heliosは多くのアプリケーションで信頼性が高く安全なプロセッサとなります。
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