中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9211046 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、高速、高い再現性、低コストの熱処理を可能にするように設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。一連の高性能ハロゲンランプ、石英電極、および調整可能なヒーターを介して、特定のサンプルの温度を迅速に制御することによって動作します。AST Heliosは、高度なデジタルコントローラを使用して所望の温度プロファイルを設定し、サンプルが正確で一貫した温度にさらされていることを確認します。このコントローラはPID （Proportional、 Integral、 Derivative）アルゴリズムを使用しており、サンプルの温度を高精度に調整できます。STEAG Heliosは、最大70 x 85mmのサイズのサンプルを処理でき、最高温度範囲は30〜1400°Cです。2000°Cの温度に達することができますが、これはオーブンアタッチメントを介して行われます。RTPには、複雑な温度プロファイルを迅速に達成するための複数の事前プログラムされた設定があります。これは、サンプルの設定温度を急速に変更するために、特別な熱制御室を利用しています。試料チャンバーへのガスの流れを制御することで、短時間で正確な結果を得ることができます。さらに、Heliosは素早いサンプルのロードとアンロードを可能にします。これは、上記のサンプルサイズで最大6つのウエハを処理できる特別な搬送段を備えています。この段階では、サンプルの自動ロードとアンロードを提供し、必要なユーザー介入の量を減らします。MATTSON Heliosの高温精度、高速温度サイクリング、および調節可能な温度範囲により、アニーリング、焼結、拡散、ポリイミドエッチングなどの多くのプロセスに最適なツールです。自動化されたローディングと使いやすいインターフェースにより、業界および研究所の両方で使用できます。結論として、STEAG/MATTSON/AST Heliosは高精度で反復可能なRTPです。そのユーザーフレンドリーなデザインと多目的な機能により、さまざまな熱処理アプリケーションに適しています。