中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9206297 を販売中

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ラピッドサーマルプロセッサー
製造業者
STEAG / MATTSON / AST
モデル
Helios
ID: 9206297
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Rapid thermal processor (RTP) system, 12" (2) Process chambers (3) FOUP Carrier ID reader: Hermos RF CID SECS / GEM MBC Soak anneal controller Low temperature option: Including low temperature MBC Fast cooling option: FAC / USJF Low concentration processing kit Over pressure control Gasses: N2, 20 SLM N2, 150 SCCM O2, 150 SCCM O2, 20 SLM O2, 2 SLM Ar, 150 SCCM Ar, 20 SLM O2, 200 SCCMO APF Faceplate 2005 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST Heliosは、正確な熱処理機能を提供するために設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。独自の設計により、スループットを最大化し、生産性を向上させます。AST Heliosは複数のランタイム制御機能を採用し、チャンバー内の正確な温度制御を提供します。この熱精度は、PID（比例、積分、誘導体）、堅牢なコア温度制御システム、および独立したプロセスエリアモニタリングなど、さまざまなサーモスタット技術によって達成されます。これにより、チャンバーを通過する各基板の温度を正確に制御できます。STEAG Heliosはまた、信じられないほどの速度を提供し、温度を素早く上下させることができます。これは、基板全体を1回の実行で処理できるため、スループットを向上させるために機能します。MATTSON Heliosは10秒未満で1300°Cまで温度に達することができます。Heliosが提供する高速かつ正確な温度制御に加えて、省スペース設計を採用しています。それは操作のためのより小さい足跡を要求するだけです。STEAG/MATTSON/AST Heliosは容易に取付けられ、取除くことができ、産業および実験室の適用のための便利な選択を提供します。プログラムも簡単で、カスタマイズされたアプリケーションを使用することができます。AST Heliosはまた、オープンチャンバー設計、圧力制御バルブ、緊急停止ボタン、マルチポイント保護システムなど、多くの安全機能を提供しています。これらの機能は、人員、機器、および環境を保護します。迅速な処理時間、精度、安全機能を備えたSTEAG Heliosは、迅速なサーマルプロセッサシステムに最適です。汎用性の高い設計、高速化、高度な安全機能により、MATTSON Heliosは熱処理アプリケーションをより簡単で生産性の高いものにします。
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