中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #9084734 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、熱処理技術のグローバルリーダーであるAST MATTOSNによって製造された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。薄膜成膜、アニーリング、急速熱酸化（RTO）など、幅広い熱処理アプリケーションを提供できる汎用性の高い機器です。このシステムは、自動高温チャンバに取り付けられた水平に取り付けられたサセプターで構成されています。サセプターは最高950°Cの温度に達することができ、高温精度の再現性のために設計されています。周囲の部屋はハロゲンランプおよび水晶空気暖房を使用してサセプターの均一な暖房のために設計されています。このチャンバーには、ウェーハの積み降ろし用の自動ドアと、プロセスガスを排出するための分離された排気ポートも備えています。ユニットは通常、1つまたは2つの水晶ランプと1つのハロゲンランプで構成されています。それは連続的な、単一バッチ、自動化された、および半自動化されたモードで作動できます。ウェーハは、自動化されたマルチレベル転送機構を介してチャンバーにロードされます。機械はまた均等性および反復性を保障するためにPIDの温度調節器が装備されています。このツールは、シリコン、ヒ素ガリウム、サファイアなど、さまざまなウエハサイズと基板を処理することができます。最大6ミクロンの薄型化、70〜1000オーム/平方メートルのアニール、毎分70〜150ナノメートルで100°Cまでの急速な熱酸化が可能です。この資産には、再現可能で信頼性の高い結果を得るためのプレミアムプロセスの漏洩と長期サイクルの安定性も備えています。全体として、AST Heliosは幅広い熱処理要件に最適です。薄膜を堆積させたり、ウエハーを急速に酸化させたりすることで、再現性の高い結果を得ることができます。堅牢な構造と自動化された機能により、部品を効果的かつ効率的に処理するための最適な選択肢です。