中古 STEAG / MATTSON / AST Helios #293593160 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Heliosは、はんだ付け、ダイボンディング、エポキシ硬化などの製造プロセスに最適な急速なサーマルプロセッサです。このシステムは数秒で電力と温度の調整を行うことができ、重要なアセンブリプロセスに優れた速度、精度、柔軟性を提供します。AST Heliosは、ロボットアームを備えたシングルウェーハリソグラフィープロセッサで、基板をチャンバー内およびチャンバー外に移動します。このチャンバーは、低酸素環境を維持するために窒素などの不活性ガスで満たされています。さらに、一連のオンボードセンサーは周囲温度と圧力を密接に監視し、正確な調整を行うことができます。処理を開始するには、ウェーハをチャンバー内に配置し、ロボットアームを所望の位置に移動します。監視された温度と圧力設定が設定され、精密抵抗ヒーターが作動します。このプロセスにより、基板全体で均一な加熱が可能になり、反復可能な結果が得られます。STEAG Heliosプロセッサは、急速な熱処理を必要とする幅広いプロセスに最適です。例えば、はんだ付けでは、基板は通常、数秒間最大350°Cの温度にさらされます。これは、基板を急速に冷却して加熱することにより、Heliosプロセッサで達成することができ、高速で正確で反復可能なはんだ付けプロセスを実現します。このシステムは、ダイボンディングやカプセル化などの硬化アプリケーションにも使用できます。一連の赤外線エミッターを使用して、基板全体にわたって均一な温度を維持しながら、エポキシ層を素早く加熱して硬化させることができます。全体として、MATTSON Heliosは優れた精度のサーマルプロセッサです。はんだ付け、ダイボンディング、エポキシ硬化などの重要なアセンブリプロセスや、急速なサーマルアニーリングなどの短時間プロセスに適しています。オンボードセンサー、急速な熱機能および精密ヒーターは基板全体に均一な加熱と温度制御を提供し、再現性、正確、信頼性の高い結果を保証し、大量、高精度の生産においてメーカーに安心を提供します。