中古 STEAG / MATTSON / AST Helios 6000 #9211048 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Helios 6000は、実績のある先進技術とコンポーネントのユニークな組み合わせを利用した、高性能の高速サーマルプロセッサ（RTP）です。このハイエンド産業グレードのソリューションは、半導体ウェーハプロセス制御エンジニアや急速な熱処理を必要とする幅広いアプリケーション向けに設計されています。AST Helios 6000は、設計されたオープンセル、センターレスのサセプター設計を備えており、幅広いワークスペース内でより高速なプロセスサイクルと最大限の均一性を実現します。その結果、最適なスループットと優れた基板加熱が得られます。STEAG Helios 6000はまた、高度な熱制御を提供し、ダイレクトデジタルフィードバックとリアルタイム温度サンプリングにより、再現可能な結果を伴う一貫した熱処理を実現します。この装置には、高度なシングルゾーンの自動レベルセンシングおよびレベリングシステムが含まれており、ウェーハが処理ゾーンで一貫して安全に保持され、優れた熱均一性を提供します。Helios 6000には、ユニットの動作を完全に制御し、ホストマシンとの通信を容易にする高速デジタルI/Oサブシステムも含まれています。高度なデジタル制御とフィードバック機能により、ユーザーは改善された熱処理パラメータを設定するだけでなく、ブラウザベースのユーザーインターフェイスを介してリモートの場所からプロセスを監視および制御することができます。MATTSON Helios 6000は、操作を簡素化する直感的な操作インターフェースを備えた高度な統合プロセス制御ツールを備えています。アセットの組み込みレシピとプロセス制御機能により、ユーザーはさまざまなプロセスのレシピのライブラリを保存し、独自のカスタムレシピを開発できます。これにより、自動レシピの拡張性と柔軟性が無制限に提供されます。STEAG/MATTSON/AST Helios 6000は、トラブルシューティング、レポート作成、その他の要件に対応する外部システムとのプロセス統合もサポートしています。AST Helios 6000は、最高の信頼性とプロセスの再現性を実現するよう設計されています。最大8。2インチの広いワークスペース容量を提供し、片面および両面の基板加熱をサポートします。このモデルには、ワークスペース内で最適なガス/フロー分布を確保するための高度なガス/フローレギュレータが装備されています。全体として、STEAG Helios 6000は、優れた熱性能とプロセス再現性を提供する高度で信頼性の高い急速なサーマルプロセッサです。堅牢なアーキテクチャとユニークな設計により、パフォーマンス、柔軟性、拡張性に優れ、幅広いアプリケーションやプロセス制御ニーズに対応します。