中古 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9353268 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Atomsは、革新的で高度な超純度の高温アニーリングプロセスを使用して、効率的で一貫した熱処理を実現し、パフォーマンスを向上させます。高精度でデジタル制御された加熱装置で構成され、これまでにない温度範囲で正確な温度サイクルを実現します。高速サーマルプロセッサは、優れた安定性、調整可能なプロセス時間、2つの独立した温度制御ループ、および高度な裏面ウェーハ温度測定システムなど、幅広い機能と機能を備えています。AST Atomsプロセッサは、デジタル制御の非接触抵抗加熱ユニットを使用して、シリコンウェーハの表面を9秒未満で所望の温度に急速に加熱します。この機械はケーブルを使用してウエハ内に渦電流を生成し、誘導加熱ツールを使用してさらに加熱します。これらの2つの方法は、急速かつ一貫して必要な温度を達成します。STEAG Atomsプロセッサには2つの独立した温度制御ループがあり、熱処理の際にウェーハの効果的かつ最適な温度制御を保証します。1つ目のループは比例積分微分コントローラで、2つ目は自動調整コントローラで、設定ポイントをよりスムーズに制御できます。これにより、手動での調整や介入を必要とせずに、ウェーハを迅速かつ均一に一貫して温度に加熱することができます。Atomsプロセッサはまた、ウエハテールクランプモデルを介して高度な裏面ウェハ温度測定アセットを使用します。熱処理時にウェーハの温度を素早く測定できるように設計されており、精度と一貫性を確保しています。バックサイドのウェーハ温度測定装置は、400°Cを超える温度でも非常に高速かつ正確に設計されています。MATTSON Atoms急速なサーマルプロセッサは、急速な熱処理を通じて、メーカーが信じられないほど正確で一貫した部品を製造することを可能にする素晴らしいツールです。STEAG/MATTSON/AST Atomsプロセッサは、優れた機能、優れた安定性、調整可能なプロセス時間、デュアル温度制御ループ、および高度なウェハ温度測定システムの強力な組み合わせにより、速度と性能の両方で際立っている強力なツールです。