中古 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9229578 を販売中

STEAG/MATTSON/AST Atomsは、薄膜蒸着、酸化、アニーリング、金属スパッタ蒸着などのプロセスで半導体産業で使用される急速熱処理装置（RTP）です。この装置は、さまざまな特殊な温度制御技術を使用して、優れた均一性で所望の温度を迅速に達成します。このシステムには、Quartz Vertical Tube Furnace （QVTF）と上向きまたは下向きのガス流量機能が装備されており、関心のある領域全体で均一で正確な温度制御を保証します。QVTFは、垂直水晶チューブであり、そのユニークなデザインは、ウェーハや他の基板の効率的な加熱と処理を容易にします。垂直管の炉は、優れた温度均一性と急速な温度変化率を提供する低熱質量エネルギープラットフォームに取り付けられています。空気強制対流（AFC）モジュールもユニットに含まれています。AFCモジュールは、気流と限られたガスの流れを組み合わせて、基板の望ましい加熱を提供します。これにより、従来のシステムと比較して、処理中に基板の周囲に乱流が発生するため、プロセス内の温度の均一性が向上します。機械の温度の制御と監視は、ハイパワーアンプ、マイクロプロセッサ、熱電対、温度センサー、および高度なソフトウェアプログラムを含む一連の高度なコンポーネントを介して行われます。これらの部品は温度を制御するとき優秀な精密を提供します。AST Atomsは、シングルゾーン処理、最大8つの制御ゾーン、最大200の構成など、さまざまな温度プロファイルを提供します。1つのプラットフォームで異なる治療プログラムを同時に実行する可能性があるため、このツールは複数の処理ニーズに最適です。さらに、このアセットは優れた熱均一性を提供し、STEAG Atomsの精密温度制御により、最高性能のRTPシステムの1つを提供します。