中古 STEAG / MATTSON / AST AST 3000 #9103112 を販売中

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ラピッドサーマルプロセッサー
製造業者
STEAG / MATTSON / AST
モデル
AST 3000
ID: 9103112
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" Single chamber (3) Loaders (3) Unloaders 2000 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST 3000は半導体の大規模な熱処理のために設計された急速な熱プロセッサ（RTP）です。RTPは、高速、高精度の温度制御を備えたスケーラブルで費用対効果の高い機器です。このユニットは、技術者にさまざまなプロセス条件を提供し、最大3つの基板を収容します。RTPは、効果的な発熱体とデジタル温度コントローラを使用して、プロセス全体で均一な温度を達成します。システム内蔵のユニットコンシステンス機能により、プロセスの再現性と信頼性が保証されます。プロセスチャンバーは、汚染を低減するように設計されており、圧力や酸素レベルなどの制御された処理条件を可能にします。RTPには、温度、圧力、酸素レベルなどの処理パラメータを追跡する堅牢なモニタリングマシンが装備されています。このツールの高度な制御アセットは、オペレータにチャンバーの温度設定から加熱速度と冷却速度の調整まで、プロセスを正確に制御する機能を提供します。制御モデルも自動化され、インタラクティブであり、オペレータはコントロールパネルからのすべての処理パラメータをリアルタイムで設定および調整することができます。RTPはユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用しており、オペレータは進捗状況とプロセスパラメータを簡単に監視できます。さらに、この機器はさまざまなレシピを提供し、オペレータは特定のアプリケーションに必要な設定やパラメータをすばやく調整できます。RTPの詳細なモニタリングシステムとプログラマビリティにより、半導体ウェーハを処理するための信頼性の高い強力なツールとなります。RTPは、簡素化された再現可能な出力を容易にすることで、歩留まりの向上、エラーの削減、効率の向上に役立ちます。このユニットは拡張性が高く、プロセス転送に対応しており、複数の基板およびウェハサイズに柔軟性を提供します。
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