中古 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #9266541 を販売中

STEAG/MATTSON/AST AST 2900は、半導体ウェーハの高度な処理用に設計された高性能の高速サーマルプロセッサ（RTP）です。エピタキシャル成長、ドーパント活性化、アニーリングなどの用途において、優れた熱性能と速度を提供することができます。AST 2900は、卓越した温度制御精度と再現性を提供することができ、高い信頼性と再現性を実現します。これは、ウェーハ全体の直径に均一で均一な加熱を保証するユニークなガード付きヒーター設計を備えた水平に取り付けられた機器です。STEAG AST2900は、優れた熱規制を維持しながら、最大5°C/秒、および30°C/秒までの冷却速度を加熱することができます。STEAG 2900は、迅速な交換マニホールドとマスフローコントローラを備えたガス供給システムを備えており、お客様はさまざまなプロセスにさまざまなガスを使用することができます。動作中の安全性を確保するため、STEAG/MATTSON/AST 2900には、自動シャットオフ付きの地上障害遮断器と2段安全バルブ制御システムがあります。MATTSON AST2900には最先端のコンピューター制御ユニットが装備されており、温度プロファイルとセットポイントをカスタマイズし、マシンを監視して動作条件を確認することができます。AST AST 2900は、優れた温度精度と再現性を提供する高度な急速サーマルプロセッサです。それは速い暖房および冷却率、精密なガス配達および堅牢な安全用具を特色にします。コンピュータ制御資産のおかげで、ユーザーは高度なプロセスに対応するためにパラメータをカスタマイズする柔軟性があります。MATTSON AST 2900は、エピタキシャル成長、ドーパント活性化、アニーリングなどの半導体加工および高度なアプリケーションに最適です。