中古 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #293820854 を販売中

STEAG/MATTSON/AST AST 2900は、半導体製造で一般的に使用される急速なサーマルプロセッサです。AST 2900は、業界で最も要求の厳しいパッケージング、ウェハレベル、および3Dアプリケーションのニーズを満たすように設計された高度な熱処理機能を提供します。STEAG AST2900は、温度の均一性と広い温度範囲を向上させ、歩留まりを向上させ、スループットを向上させるように設計されています。STEAG/MATTSON/AST AST2900は-60°Cから1000°Cに及ぶ温度を提供できます。また、600mmまでのウェーハを迅速に識別・加工できる高度なウェーハ認識システムを搭載しています。MATTSON AST2900は、高い熱性能と迅速なウェーハ識別の組み合わせにより、迅速な処理時間を実現し、効率を最大限に高めることができます。AST2900はまた、均一で反復可能な処理結果のための高度な熱均一性を提供します。STEAG/MATTSON/AST 2900は、ウェーハの端に温度を適応させることができる高度な動的均一最適化（DUO）ユニットと、オンタイム測定の精度を向上させるための低熱変動検出機を備えています。これらの技術は、プロセス全体にわたって均一なウェーハ温度を保証します。AST AST 2900も柔軟で、さまざまなプロセスレシピと機能を備えています。2900は、LED、ロジック、メモリ、パワーデバイスだけでなく、6「から12」までのウェーハサイズの広い範囲を処理することができます。このツールは、並列処理機能のために複数の独立した処理チャンバで構成することもできます。AST AST2900は、N2、 O2、 SF6、およびヘリウムなどのさまざまなプロセスガスとも互換性があり、幅広い処理能力を可能にします。STEAG 2900は、半導体業界の要求に応えることができる信頼性と柔軟性、高度な資産です。その機能と高度な機能の範囲は、要求の厳しいウェーハ処理アプリケーションのための優れた選択肢となります。MATTSON AST 2900は、温度の均一性、迅速な性能、柔軟な構成を備えた優れた選択肢です。