中古 STEAG / MATTSON / AST AST 280 #293651451 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
STEAG/MATTSON/AST AST 280 Rapid Thermal Processorは、多種多様な材料を高速、正確、効率的に処理するための高性能ツールです。洗練されたソフトウェア制御システム、超高速熱処理、および精密基板とウェーハ加熱を組み合わせた多機能、低コストのシステムです。AST AST 280は、高速熱暖房（RTH）技術を使用して基板とウェーハの高速かつ正確な加熱を可能にします。このRTHプロセスは、基板またはウェーハが均一に強化されていることを確認するために、急速な予熱サイクルで始まります。これに続いてパルス加熱が行われ、基板またはウェーハを一連の非常に正確に制御されたステップで加熱し、各層と材料を最適な処理に必要なエネルギーの正確な量で処理することができます。STEAG AST 280の各ステップの正確な温度プロファイルを指示する機能により、より正確で繰り返し可能な結果が保証されます。AST 280には、基板またはウェーハから収集されたインテリジェントなフィードバックを使用して、各サイクルの温度を正確に制御するハイエンド制御システムも装備されています。これは、サンプルの表面と厚さにわたって優れた均一な温度レベルを提供します。また「、ホットスポット」の可能性を排除し、熱処理が一貫して信頼性が高いことを保証します。MATTSON AST 280は、加熱サイクル間のダウンタイムを最小限に抑えて再現可能なプロセスステップを可能にする高度な制御アルゴリズムも備えています。また、基板またはウェーハの広い表面にわたる熱分布をバランスよく保つことが保証されています。高速起動機能により、このシステムは所望の温度に達するのに数分かかります。STEAG/MATTSON/AST AST 280は、半導体や写真処理、薄膜成膜、生化学用途など幅広い材料を加工できます。プリント基板、レーザーなどの製造にも使用されています。AST AST 280は人間工学を念頭に置いて設計されており、コンパクトで軽量なデザインと使いやすい直感的なユーザーインターフェイスを誇っています。このシステムはメンテナンスが容易で、産業用と教育用の両方に適しています。さらに、その長い保存性と低い運用コストにより、研究開発ラボにとって理想的な選択肢となります。
まだレビューはありません