中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9262640 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 3000は、高性能アプリケーション向けに設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。赤外線ランプとホットガスを組み合わせて基板などの温度を素早く上下させる先進的な熱処理システムです。AST 3000を使用すると、従来の方法で要求される時間のほんの一部で幅広い温度を達成できます。STEAG 3000は、コールドゾーンチャンバーとホットゾーンチャンバーという2つのチャンバーのユニークな構成で設計されています。デバイスの上半分に位置するコールドゾーンチャンバーは、加熱および冷却のためのアクティブな領域です。チャンバーには、直接加熱用のIRランプ、各種ガス混合用にプログラム可能なガス流量システム、低温冷却用の低温貯蔵が装備されています。装置の下半分にあるホットゾーンチャンバーは、アニールおよび熱処理の基板用です。Hot Zoneチャンバーは、カーテン状の放射線シールドと発熱体と耐熱光学窓の配列をホストします。3000のソフトウェアには、熱プロセスの明確な可視化を可能にするユーザーフレンドリーなグラフィカルコントロールが含まれています。このソフトウェアは、温度プロファイルと制御パラメータの効率的かつ再現性の高いプログラミングを可能にします。MATTSON 3000には、プロセスパラメータの包括的な特性評価と最適化を可能にするリアルタイム温度監視システムも装備されています。STEAG/MATTSON/AST 3000は急速な熱処理のための信頼できる用具です。伝統的な方法で要求される時間のほんの一部で材料を処理することができ、加熱と冷却速度を正確かつ再現可能に制御できるように設計されています。この高度なツールは、ウェーハやその他の基板を極端な温度変化で高速かつ信頼性の高い処理方法を提供します。