中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9224637 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 3000は、再現性と精度の高い半導体ウェーハの加工に使用されるラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。この高度なシステムは、高品質で信頼性の高い集積回路（IC）を製造するように設計されており、最もハイライコンプレックスのデバイスでも処理に適しています。このRTPは暖房室、温度調節器、ローディングおよび荷を下す場所、保護エンクロージャ、ウェーハ移動のロボットおよびウェーハチャックを含む複数の主要な部品から成っています。AST 3000の一次加熱室は、優れた熱安定性と均一な温度分布のためにステンレス鋼から構成されています。温度範囲は-70°C〜1000°Cで、加熱および冷却速度は最大200°C/秒です。RTPは、独自の保護キャビネットに囲まれており、運用およびメンテナンス担当者の安全を確保しています。温度コントローラは、チャンバの温度プロファイルを正確に調整し、1回の実行で複数のランプ温度を実行するようにプログラムされています。プロセッサはLEDディスプレイと入力コマンド用のフルQWERTYキーボードを備え、操作が簡単で直感的です。コントローラには、冷却およびプロセスガスフローセンサーが装備されており、正確で信頼性の高い性能を発揮します。STEAG 3000は、加熱および冷却要素に加えて、ウェハローディングおよびアンロード用のロボットアームも備えています。このアームは、ウェーハをストレージトレイからウェーハチャックに移動させるようにプログラムされています。ウェハチャックは、ウェハハンドリングを確実にするために特別に設計されており、急速な熱処理の間にサポートとアライメントを提供します。余分な保護のために、ウェーハはまた湿気および粒子障壁として機能する換気されたふたとさらにしっかり止められます。MATTSON 3000は最高の効率および信頼性のために設計されている高度RTPシステムです。堅牢な構造により、均一な加熱、冷却、ウエハハンドリングが可能で、高品質のIC製造をお求めのお客様に最適です。