中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095995 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 3000は、半導体ウェーハ処理用の高速サーマルプロセッサ（RTP）装置です。この汎用性の高いシステムは、イオン注入を成功させるための非常に均一な温度制御と正確に設計された熱プロセスを提供するように設計されています。このユニットは、生産のためのベースラインプロセスの開発に最適であり、急速なサーマルアニーリング（RTA）のための正確な温度環境と、重いドープされたシリコン材料の炉アニーリングを保証します。このマシンは、幅広い温度範囲で高速加熱および冷却機能を提供します。回転サセプターを使用すると、サンプル内の熱の均一な分布が保証されます。それは1150°Cまで温度を維持することができます。温度の均一性は+/-2°Cで維持され、ウェーハの上面、中面、底面で測定されます。このツールはまた、迅速な応答時間を確保するためにリアルタイムの監視と制御を備えています。全体として、AST 3000は生産および開発プロセスに包括的な熱処理機能を提供します。それは維持の容易さを保障するように設計されている丈夫な部屋の構造、および精密な温度調整のための信頼できる電子工学を特色にします。様々な環境やプロセスレシピとの互換性があるため、研究室や加工センターにとっても魅力的です。このモデルはさらに、高度な温度補償を提供し、ウェーハ全体にわたって均一性と精度を維持する特許取得済みのソフトウェアアルゴリズムによって際立っています。STEAG 3000には3年間の限定保証が付属しており、リモートコンピュータインターフェイスとグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれています。これにより、工場のオートメーションシステムと完全に統合され、ローカルおよびリモートで機器にアクセスできるようになります。RTPには診断機能や障害管理機能も搭載されているため、必要に応じて簡単に検出、診断、および是正措置を実行できます。MATTSON 3000は、幅広い半導体およびオプトエレクトロニクス用途向けの先進的な急速サーマルプロセッサです。堅牢な設計、正確な温度制御、リアルタイムの監視と制御、さまざまな環境との互換性により、生産および開発プロセスにとって魅力的な選択肢となります。