中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095994 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 3000は、短いサイクルで信頼性の高い処理結果を提供するように設計された先進の急速なサーマルプロセッサです。それは高温、高い発電の暖房容量を特色にし、1100°C。の高い温度に10秒未満で3つの150mmのウエハのキャリアを熱することができます。大きなウェーハ表面積を使用すると、非常に均質な加熱効果が得られますが、最新の「クールダウン」技術を使用することで、プロセスからプロセスへの迅速なターンアラウンドが保証されます。この高度な急速なサーマルプロセッサは、3つのゾーンを利用します。温度および温度の長寿を提供するように設計されている高温、中温および低温部屋システムは暖房機能の信頼性そして正確さをさらに高めます。その低ドリフトと低熱勾配は、部品が所望の温度に正確かつ正確に加熱されることを保証します。AST 3000は、高温、高出力処理を提供するだけでなく、プロセス監視機能を提供し、プロセスの温度と時間を非常に正確なレベルに制御することができます。また、正確な時間温度モニターを備えており、ユーザーは各プロセスに関連する時間温度データを考慮することができます。さらに、このデバイスは、あらかじめプログラムされたプロセス中に使用するために保存できる最大999個のスクリプトをプログラムする機能を提供します。STEAG 3000の堅牢な設計により、メンテナンス要件が低いため、信頼性が高くなります。そのステンレス鋼の処理部屋は腐食および摩耗抵抗力があり、装置はプロセス洗い流すか、または水再循環を要求しません。さらに、ユーザーフレンドリーなLCDタッチスクリーンディスプレイは、急速なサーマルプロセッサのステータスと設定を明確に監視することができ、迅速かつ簡単なデータ入力、操作、およびストレージのための機能の範囲を提供します。さらに、MATTSON 3000には、ドアインターロック、ウェハキャリアインターロック、過熱インターロック、過圧警告などの安全関連機能が搭載されています。これにより、重要な操作を実行するときに機器が安定して信頼性が維持されることをオペレータに安心してください。全体的に、3000は最新の工業生産の要求の厳しいニーズを満たすように設計された高度な急速なサーマルプロセッサです。高温高出力加熱容量とプロセス監視機能、使いやすい液晶タッチスクリーンディスプレイ、および高い信頼性と安全関連機能を兼ね備えており、あらゆる生産環境にとって魅力的なデバイスです。