中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293814736 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 3000は、生産レベルの半導体デバイス製造用に特別に設計された高速サーマルプロセッサです。処理されたデバイスの品質を維持しながら、サイクルタイムをできるだけ短縮するように設計されています。AST 3000は、性能を損なうことなく高いスループット要件を満たすために、必要量の基板材料を迅速かつ正確に加熱および冷却するように設計されたプリコンディショニングチャンバーを使用しています。デバイス作成に必要な反応を適切に刺激するために、基板を1250Cまで温度に加熱することができます。STEAG 3000は、高温環境を採用し、長いサイクル時間によるデバイスの損傷を最小限に抑えます。これは、マルチセグメントサーマルプログラムを使用して、プロセスに必要な正確な温度に熱プロファイルを連続的に微調整することによって行われます。温度調節器はまた熱overkillによって引き起こされる基質の沈殿か酸化を防ぎます。3000は、2つの周波数を高速に切り替えるデュアルRF電源を使用して、最大の熱均一性を実現します。MATTSON 3000はまた、各基板の状態を継続的にチェックし、可能な限り最高のスループットを確保する組み込みプロセス監視システムを備えています。これには、プロセス全体における基板温度、ガス流量、圧力の継続的なモニタリングが含まれます。このシステムには高精度の計測ツールも含まれており、望ましいプロセスの成果を確実に達成できます。STEAG/MATTSON/AST 3000には、異なるマシン間でプロセスレシピを簡単に転送できるユーザプログラマブルなオプションが用意されています。これにより、複数のプロセスレシピが可能になり、複数のマシンでプロセスの再現性を確保できます。さらに、AST 3000には、窒素、ヘリウム、塩素との絶縁など、高い生産歩留まりを確保するために設計されたさまざまなエッジ絶縁オプションを装備することができます。全体として、STEAG 3000はパワフルで信頼性が高く、効率的な高速サーマルプロセッサであり、生産レベルの半導体デバイス製造に最適です。使いやすいユーザーインターフェイスとカスタマイズ可能なプロセスレシピを提供し、最高のパフォーマンスと出力を実現します。温度制御やプロセス監視など、その多くの機能は、忙しい半導体メーカーに最適です。