中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293621528 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 3000は、あらゆるサイズの基板の効率的で均一な加熱に使用される急速なサーマルプロセッサです。このデバイスは、最大1000°Cの温度範囲、+/-1°Cの温度均一性、および10°C/秒までの加熱速度を備えた4ゾーンの急速なサーマルプロセッサです。このデバイスは、高温と均一性、短いプログラミング時間、および柔軟性の組み合わせにより、熱処理に効果的なアプローチを提供します。AST 3000の4ゾーン設計により、異なるゾーンを個別または組み合わせて加熱することができ、デバイスの柔軟性が向上します。上部と下部のサーマルヘッドには、制御システムにフィードバックを提供する温度検出要素が含まれており、温度を正確に維持および監視することができます。垂直チャンバーには窒素パージポートが装備されており、不活性オプションを含む広範囲の大気を可能にします。炉の環境のオプションを提供するオプションのヒーターが利用可能です。高度なプローブとセンサーを使用し、高度な制御システムにより、高精度、再現性、均一な熱処理が可能です。また、この急速熱処理装置は、温度、速度、温度の持続時間など、さまざまなパラメータを備えた直感的なオペレータインターフェースを備えています。STEAG 3000には使いやすいタッチスクリーンコントローラがあり、幅広い要件に対応するカスタム処理が可能です。この直感的な制御システムは、複雑な高温プロセスを実行し、複数のプロセスパラメータを制御し、データロギングとプロセス最適化を提供することができます。全体として、MATTSON 3000の機能により、基板の急速、均一、高温加熱を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。この汎用性の高いデバイスは、精密な熱処理を提供するように設計されており、比類のない再現性と柔軟性を提供します。