中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293615440 を販売中

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ラピッドサーマルプロセッサー
製造業者
STEAG / MATTSON / AST
モデル
3000
ID: 293615440
Rapid Thermal Processor (RTP), 8"-12" (2) FOUPs (3) Cassettes, 8" (2) Combined and integrated SMIF, 8"-12" (3) Side panels (3) Upper quartz plates (2) Linear plates (8) Gas distributors (4) Air bearings (2) Roter, 12" Ring carrier, 8" Rotor plate, 8" Rotor, 8" Ring deflection frame Chamber U, Q, P Static with ring tilt Blower: 0.93 m² Pyro chiller SIEMENS DC Power supply, 24 V Process module Power control module: 1.04 m² Computer electronics Footprint, 4.19 m² Rack Da-Karte HDD CPU MUX-DAC-DSP PyRi-PCC Netzteil 2x15V Netzteil 5V Netzteil ±12V/5V Netzteilter C64-Busplatine ISA 36 Bus 3 Slot Wafer handler module: I/O Controller Distribution box Gas cabinet: Pressure: 6 Bars Purity N2: >99.9999% Purity O2: >99.9999% Gas / Flow rate: O2 / Ar / 50 SLM NH3 / 30 SLM H2 / - O2 / 5 SLM O2 / 60 SLM N2O / 30 SLM N2 / 100 SLM Missing parts: Robot Aligner Pyrometer Control Oxygen sensor PCU Parts PWM / POD boards.
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STEAG/MATTSON/AST 3000は、高精度かつ高精度な熱管理プロセスのための最高レベルの性能を提供する急速なサーマルプロセッサです。このプロセッサは、さまざまなアプリケーションのニーズに対応するために、高精度で高速な熱処理を実現するように設計されています。複数の温度ゾーン、高解像度熱流量モニタリング、精密な温度制御など、幅広い機能を備えています。プロセッサは、任意のアプリケーションに合わせて手動モードと自動モードの両方で制御することができます。温度ゾーンは、正確な温度制御でアプリケーションのニーズに応じてプログラムすることができ、熱処理プロセス全体で正しい温度が維持されることを保証します。また、プロセッサには高解像度の熱流監視システムがあり、システム内の熱流を正確に制御できます。プロセッサも堅牢な設計で、過酷な環境でも動作します。金属やプラスチックをはじめとする様々な材料を使用することができ、これらの材料に精密な熱処理を提供します。また、プロセッサには最適化された熱伝達システムと大きな冷却能力があり、材料が適切な温度で処理されることを保証します。AST 3000は、さまざまな熱処理において高い精度と精度を提供します。プロセッサは費用対効果も高く、幅広いアプリケーションに理想的なソリューションを提供します。このプロセッサは、金属、プラスチック、半導体デバイスの熱処理など、さまざまなプロセスに使用できます。プロセッサは、製品の製造における材料の加工にも最適であり、最高レベルの精度を維持します。STEAG 3000は、精密かつ正確な熱処理を必要とするさまざまな用途に最適です。プロセッサは精密で正確な熱管理プロセスを提供するように設計されており、さまざまなアプリケーションで最高レベルのパフォーマンスを実現します。プロセッサは費用対効果も高く、幅広いアプリケーションに理想的なソリューションを提供します。
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