中古 STEAG / MATTSON / AST 3000 plus #9281776 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 3000 plusは、室温から1500˚Cまでの温度を組み合わせた高速サーマルプロセッサ（RTP）です。この技術は、あらかじめ定められた温度や時間スケールで熱処理が可能なため、半導体デバイスの製造に使用されます。このRTPはモジュール式のアプローチを採用し、高度なプロセス制御、堅牢な熱室、および効率的な対流システムを含む3つの部品で構成されています。高度なプロセス制御により、必要な結果を得るために正確な温度プログラムをプログラムすることができます。短いサンプル処理時間で正確な温度測定を行い、サンプル内の残留応力を最小限に抑え、高い熱精度により再現性のある結果を得ることができます。堅牢な熱室は、大きな高性能の加熱ゾーンで構成され、可動壁は均一な熱処理を保証し、その相互接続された部品は、幅広い温度範囲でプロセス制御機能をプログラムすることができます。最後に、効率的な対流システムにより、モーションアーチファクトを導入することなく、高温で急速な熱処理を行うことができます。AST 3000プラスは、非常に精密かつ一貫した高レート処理を可能にします。このデバイスは、ウェーハ成膜/エッチング、デバイス製造、およびALD/CVDプロセスなどのさまざまなアプリケーションに使用することができます。高いレート処理と改良されたサーマルシステムにより、このRTPは精密で再現性のある熱処理を必要とするあらゆる組織に最適です。さらに、このデバイスは、オペレータの安全性を損なうことなく、長時間高温を維持することができます。