中古 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9278283 を販売中

SteamSTEAG/MATTSON/AST 2900は、超精密なサーマルサイクリングと非常に低いサイクルタイムでの急速な温度上昇を提供する急速な熱処理ツールです。この装置は1°Cの正確さを維持している間3秒から10秒の200から1000°Cにセットポイントに達することができます。これにより、従来の炉やオーブンシステムではほとんど不可能だった正確な温度プロファイル校正と制御が可能になります。このシステムは、分子ビームエピタキシー、金属化学蒸着、材料研究、半導体インターコネクト、および高度な金属絶縁金属相互接続などのRTPアプリケーションに最適です。SteamAST 2900は、高度なPID曲線学習アルゴリズムを使用して、最適な温度ランプ時間を計画し、特定の温度で超低サイクルレートを提供します。高度な制御ユニットは、プロセス全体で最高の温度安定性と精度を可能にします。さらに、この機械には、水素、窒素、アルゴンなどのさまざまなガスに設定できる3つのチャネルまでの独立したガス供給ツールが装備されています。制御アセットはまた、ガスの流れと圧力の非常に微調整を可能にします。SteamSTEAG 2900のサーマルサイクリングは、ハードウェアの変更やポストプロセスエンジニアリングを必要としません。このモデルは、自動化されたプロセスを使用して、プロセスのユーザー仕様に最も適した温度プロファイルを作成します。この装置はまた、高度なホットゾーン設計のおかげで、プロセス全体で優れた温度均一性を提供します。また、このシステムには印象的な表示画面があり、プロセスやガス流量などのデータポイントを通じて温度プロファイルをグラフィカルに表示します。また、重要なデータポイントのリアルタイム分析、グラフィカルおよび統計解析ツール、結果の保存と共有などの高度な後処理機能も備えています。全体的に、Steam2900は優れた温度安定性と精度、超高速サイクルタイム、およびユーザーフレンドリーな機能を提供する強力な急速なサーマルプロセッサであり、半導体および太陽電池デバイスの生産に最適なツールです。