中古 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9224563 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2900は、プロセス開発と性能を最適化するために設計されたハイエンドの急速熱処理装置（RTP）です。RTA （Rapid Thermal Annealing）とRTO （Rapid Thermal Oxidation）の2段階のプロセスを備えており、処理パラメータを迅速に制御し、プロセスを最適化する柔軟性をユーザーに提供します。このシステムは、マイクロエレクトロニクス、電子パッケージング、半導体製造に関連するさまざまな特殊プロセスの商用、プロトタイプ、研究アプリケーションに適しています。AST 2900は、処理能力とスピードの印象的な組み合わせをユーザーに提供し、パラメーターを迅速に調整し、処理タスクを効率的に完了させることができます。単位のTPAの温度の部屋は温度の均等性および柔軟性のために設計されています。それに150°C/secまでの調節可能な暖房率があり、1000°Cまでの温度で急速な熱アニーリング（RTA）か急速な熱酸化（RTO）を行うことができます。温度チャンバーの均一性コントラストは≤ 1。25°C、温度均一性（TU）は2。25°C以上です。このマシンは、急速な熱酸化（RTO）に必要な酸素流入を検出および調整するためにクローズドループのガス分析ユニットを使用しています。この独立した熱流量制御ツールは、酸素/窒素のスループット率を低減し、必要な消費レベルにオフガスを最小限に抑えてTOXおよびRTO要件を正確に決定するのに理想的です。STEAG 2900の急速な熱処理能力は、静圧制御、高圧ガス制御、温度、ガス流量、アンペア/電力制御、周波数制御など、プロセスおよび炉の制御パラメータのプログラム可能な選択によってさらに補完されます。この範囲の制御オプションを使用すると、プロセスを調整して最適な結果を得ることができます。また、モデルのパフォーマンスを監視し、早い段階でプロセスの異常を検出するように設計された高度なデータロギングとグラフ作成機能も備えています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、RTPプロセスのリアルタイム監視を提供し、迅速かつ効果的な診断を可能にします。全体として、2900は効率的で信頼性の高い高速サーマルプロセッサであり、高度なプロトタイプ開発、プロセス設計、および商業生産要件に完全に適しています。高度なプロセス制御設定、温度均一性、酸素流入調整、データロギング機能を幅広く備えており、最適な結果を得るためにプロセスを効率的に最適化することができます。