中古 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9182434 を販売中

STEAG/MATTSON/AST 2900ラピッドサーマルプロセッサ（RTP）は、さまざまな高温プロセスで使用されるように設計された高度な高温処理ツールです。RTPは300°Cから1200°Cの温度範囲（特定のモデルに応じて）を急速に達成することができ、最大ランプ速度は300°C/秒です。このシステムは、コンベア、炉の炉、熱プロセッサ、冷却ステーションの4つの主要コンポーネントで構成されています。RTPコンベアは、さまざまな基板サイズを受け入れるように設計されており、非標準の基板に対応するカスタム設計が可能です。このコンベアは、RTPサーマルプロファイルを介して材料を輸送するための信頼性の高い反復可能な方法を提供します。コンベアの動きは、速度、加速/減速、および方向の調整可能な設定を備えたクローズドループマイクロプロセッサによって制御されます。最大ベルト速度は630mm/秒を超えています。44「の長い炉の炉はさまざまなサイズの多数の基質を握ることができ、内部絶縁材の3」の水冷却された水晶管の中に収容されます。炉および基質は温度が増加し、減少するので炉の中で囲まれます。この炉は、300°C〜1200°Cの温度範囲で+/-1°Cの精度を実現し、300°C/秒までの高速温度ランプを達成することができます。RTPサーマルプロセッサには、3つの独立した制御ループのスイートが装備されています。各ループは、温度、浸漬時間、ランプレートなどの独自のパラメータの制御を保持します。3つの制御ループは並行して作動し、それぞれの基質のサイズおよびプロセスのために個別に調節することができます。RTPは、調整可能なドウェル時間、プリパージ雰囲気、トリム雰囲気を備えた複数の温度プロファイルを可能にし、幅広い用途に適した多目的な構成を可能にします。最後に、冷却ステーションは、RTPから排出される前に、材料を安全で適切な処理温度に冷却するように設計されています。冷却率は調節可能であり、異なる冷却プロファイルが特定の用途に適合することを可能にします。結論として、AST 2900ラピッドサーマルプロセッサは、さまざまな高温プロセスに適した高構成、信頼性、再現性の高い加工ツールです。その高度な機能と温度範囲は、さまざまな製造アプリケーションに最適です。