中古 STEAG / MATTSON / AST 2800E #9103115 を販売中

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ラピッドサーマルプロセッサー
製造業者
STEAG / MATTSON / AST
モデル
2800E
ID: 9103115
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" Single chamber (2) Loaders (2) Unloaders DC Power supply output stability: < 0.2 % at main power Open cassette, 8" Cassette rotate: Load / Unload position disable Wafer transfer: EQUIPE Robot Flat aligner: EQUIPE Aligner Operator panel: Touch screen LCD, 12" Operating system: Windows NT Process temperature range: 550°C ~ 1150°C Temperature reading sensor: Pyrometer O2 Contamination measurement sensor Gas lines: N2 (30 slm) O2 (500 sccm) Ar (10 slm) NH3 (10 slm) Air valve MFC Filter Regulator Signal tower Power supply: 208 VAC ±6%, 125 Amp, 3 Phase + PE 43 kVA 1994 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST 2800E Rapid Thermal Processor （RTP）は、さまざまなパッケージデバイスを開発およびテストするためのワンストップ熱処理ソリューションです。幅広いプロセス温度（200〜1000°C）、高速サイクル時間（3秒）、堅牢な温度制御により、信頼性と一貫した性能を提供します。RTPは、2つの独立した温度ゾーン、PLC制御システム、および自動レシピ選択を備えた直感的なソフトウェアを備えた使いやすさのために設計されています。このユニットはCSA認証を受けており、SEMI E63およびE77規格に準拠しています。機械のモジュラー設計はそれを含むさまざまな適用にとって理想的にします：1000°CまでのRTP-LIN；プロセスの最適化とデバッグ；HTOL Electroの熱応力テスト（HTEST）；OTA研究；EMISS/CISテスト；そしてダイツダイ相互接続。直感的なユーザーインターフェイス、すべてのパラメータの完全な監視、および柔軟なプログラミング機能を備えたLEDディスプレイは、リアルタイムの監視と制御機能をユーザーに提供します。RTPは、ウェーハサイズ、さまざまなプロセスチャンバー、および自動ロード/アンロード・システムなど、さまざまな構成オプションに調整できます。統合された真空ポンプのメカニズムは1000°Cまでプロセス温度を可能にします。RTPは、特許取得済みの「オールインワン」対流ジャケットで構築されており、内部温度プロファイルは伝統的な限られたチャンバー設計に対して非常に均質です。この重要なキャビティを使用することで、ウェーハ全体で0。25°C未満の温度変化が保証されます。RTPには、イオン粒子や水からの汚染を避けるための高度な電気クリーンツールも装備されています。排気アセットは、自動元濾過とA/Cコンデンサ分離を備えています。RTPには、液体冷却を避ける「乾燥専用」保護機能が搭載されています。RTPには、RTP-HTOL、 RTP-STOL、 RTP-HTOLES、 RTP-LINC、 RTP-TABLE、 RTP-HSOなど、さまざまなプロセスオプションがあります。これらのオプションは、高温ランプ、1000°Cまでの高真空での急速な熱アニール、エレクトロマイグレーション、HTOL、 1000°Cまでのシングルウェーハ急速熱処理、ウォームアップとクールダウンのための低温オーブンなど、さまざまなプロセスの組み合わせを可能にします。全体として、AST 2800E Rapid Thermal Processorは、さまざまな熱処理ニーズに対応する信頼性の高いソリューションです。高速サイクルタイム、信頼性の高い温度制御、高品質のパフォーマンス、および再現性の高い結果を得るための堅牢な設計により、高温性能を提供します。
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